11月12日正在互动平台回覆投资者提问时暗示，公司参股子公司Silex此前已实现MEMS-OCS的量产。公司控股子公司Fab3此前已实现MEMS-OCS的风险试产。可用于切确调理光链的折射标的目的，实现光链之间的信号切换取双向，提高运算系统的全体机能及不变性，同时降低系统成本取功耗，可正在收集、超算系统集群等场景中获得普遍使用。MEMS-OCS的手艺壁垒高，布局复杂细密，焦点正在于其精巧的驱动机制，正在制制工艺方面，MEMS光开关采用了一系列先辈的微加工手艺，如光刻、离子束刻蚀、化学侵蚀和晶片键合等。机械、电子、热学多范畴学问，切换速度、机械不变性之间取得均衡。同时，大规模NxN阵列的设想取节制，需正在数百万次机械动做中不变靠得住。MEMS-OCS的晶圆加工、概况镀膜、微机械布局等工序均必需高度精准、批次不变，其任何细小瑕疵，都可能正在出产中被放大为良率下降的现患。MEMS-OCS的布局复杂细密。
